发布时间:2025-04-18
点击次数: 近日,北京理工大学重庆微电子研究院(以下简称“北理微电院”)的算法工程师赵瑞凡和研究生潘腾分别以第一作者身份,在光学领域的国际知名期刊《optics express》(jcr q2, if=3.2)上发表了论文。北理微电院的谢会开教授和陈倩博士担任这两篇论文的通讯作者。
论文一:MEMS-based Fourier transform spectrometers的异步等光程差采样方法
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该研究针对双光路MEMS近红外光谱仪在同步激光标定时出现的光电耦合问题,提出了一种异步采集干涉信号的方法。该方法基于电热MEMS微镜在连续一段时间内的扫描状态变化对光谱无影响的假设,通过实验数据确定了在确保光谱重复度的前提下,激光采集的时间间隔。通过这种方法,从根本上避免了双光路MEMS近红外光谱仪光电耦合对光谱分析的影响,提高了光谱数据模型的预测精度,同时也达到了降低功耗和简化硬件设计的效果。


论文二:用于解耦共振扫描的双轴非对称电热MEMS微镜
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该研究设计并制造了一种新型的非对称解耦微镜,通过建立微镜动力学模型,分析了产生耦合的原因,并提出了频率分离解耦机制。*结果显示,不同驱动臂长度可以有效分离微镜倾斜运动的谐振频率。对制造的电热微镜进行测试,在2 Vpp电压驱动下,成功投射出规则的光栅和李萨如扫描图案,帧率可达30 fps,光学视场为21°×22°。测试结果表明,解耦微镜实现了双轴谐振无耦合扫描
,解决了电热MEMS微镜在谐振驱动时的交轴耦合问题。这项技术在光学内窥、激光雷达等需要高速高精度扫描成像的领域具有重要应用潜力,同时为下一代MEMS微镜的优化设计提供了关键理论支持。



北京理工大学重庆微电子研究院(以下简称“北理微电院”)位于西部(重庆)科学城西永微电子产业园的核心区域,是由西永综合保税区和北京理工大学共同创办的高端研发机构,致力于构建中国数字经济产业的感知基座,重点发展先进传感、超宽带通信和医工融合三大方向。截至目前,北理微电院拥有超过9000平方米的办公与实验场地,并投入超过1.5亿元,建成了国内领先的6英寸MEMS微纳工艺研发线,超净面积达1100多平方米。
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